スパッタ班
スパッタ蒸着により作製した薄膜試料を用いて、
CO₂のメタン化に関する研究や超磁歪材料についての研究、水素脆化メカニズムに関する研究を行っています。
水素吸蔵時やメタンの生成時に水素吸蔵合金上で起こる反応について
表面分析に適した薄膜を用いることにより
反応の詳細について調べています。
スパッタリングとは
イオン化したガスを成膜させたい材料で作られたターゲットに衝突させることにより、ターゲット材料を弾き飛ばすことで、成膜する技術。
当研究室ではマグネトロンスパッタリング法により薄膜試料を作製しています。
メンバーリスト
神谷 柾人
澤本 裕一
片岡 竜一
山田 創大
金田 修一
元重 彩貴
馬場 晴也